設備名 | メーカー名 | 型格・能力 | 台数 |
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クリーンルーム | 川崎製鉄 | クラス1000・450㎡ | 一式 |
オイルフリースクロールコンプレッサー | アネスト岩田 | SLP-110D | 2台 |
パーティクルカウンター | メットワン | Model 227 | 1台 |
実体顕微鏡 | ニコン | SMZ | 30台 |
顕微鏡写真撮影装置 | ニコン | – | 1台 |
イオナイズドエアーブロワー | スリーエム、シムコ | C-30、601 | 50台 |
リストストラップ連続監視モニター | スリーエム | 722 | 30台 |
静電気測定機 | スリーエム、シムコ | FM-300、713 | 2台 |
面積 | 組立室 |
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清浄度 | 組立室 |
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温度 | 現状 | 23℃±3℃で管理 |
湿度 | 現状 | 50%±10%で管理 |
静電気対策 | 組立室 | 全て導電床、各作業机はイオナイザーで除電 作業者は連続監視モニタ、リストストラップ等で除電可 |
電源 | 組立室 | 100V、200Vのファクトライン設置 |
圧気 | 組立室 | 引き込み済 |
排気 | 組立室 | 各机からダクトでの強制排気設備設置済 |